Das Institut für Mikroproduktionstechnik (IMPT) der Leibniz Universität Hannover arbeitet an einer Prozessfolge zur Abscheidung und Strukturierung eines Aluminiumnitrid-Dünnfilms, der aufgrund der piezoelektrischen Eigenschaften sowohl in Sensor- als auch Aktorsystemen Anwendung finden kann. Mögliche Anwendungen wären hier Drucksensoren, Beschleunigungssensoren oder Aktoren für eine präzise Auslenkung sowie im Bereich Energy Harvesting zur Energieversorgung von anderen Bauteilen im System.
Bildunterschrift/-nachweis: Abgeschiedenes Aluminiumnitrid mit strukturierter oberer Goldelektrode auf einem 4-Zoll-Substrat. Quelle: IMPT, Sascha de Wall, Lukas Steinhoff
