Bei der Miniaturisierung von Quantensystemen spielt auch die Miniaturisierung der Peripherie eine große Rolle. Gerade bei Vakuumsystemen ist die Pumptechnik die platzeinnehmendste Komponente. Im Rahmen des Projekts „Innovative Vakuumtechnologie für Quantensensoren“ (InnoVaQ) entwickelt das Institut für Mikroproduktionstechnik (IMPT) der Leibniz Universität Hannover deshalb eine miniaturisierte Pumptechnik: eine Ionengetterpumpe.
Im Projekt InnoVaQ wird ein Vakuumsystem entwickelt, in dem der Druck im Bereich des Utrahochvakuums (UHV) bei 10-8 bis 10-11 mbar liegen soll. Für das Erreichen dieses Druckes wird eine Kombination von Vorpumpen und Hochvakuumpumpen benötigt, da ein einstufiges Pumpen von Atmosphärendruck bis UHV nicht möglich ist.
Bildnachweis: Eine mittels Trennschleifen hergestellte Feldemitter-Array, Quelle: Aleksandra Buchta (IMPT)
